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芯片車間潔凈度要求

 更新日期:2020-09-30 點擊量:6146

                                                   芯片車間潔凈度要求

       近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,對于新產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求。萬級無塵車間在半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項綜合的技術(shù),只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點,做到設(shè)計合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,提高生產(chǎn)效率。

       電子制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實時監(jiān)測潔凈環(huán)境的溫濕度】,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、萬級電子無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次;

2、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

3、平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;

4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;

5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

6、噪聲:≤65dB(A);

7、照度:300LX;

8、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%。

    萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)。

以上是芯片車間潔凈度要求的簡單介紹,在檢測芯片車間潔凈度時會需要用到塵埃粒子計數(shù)器、浮游菌采樣器,壓差儀,風(fēng)量罩等潔凈室檢測儀器,而宏瑞科技作為近30年的潔凈環(huán)境檢測儀器生產(chǎn)廠家,合作伙伴涉及電子電工、食品、衛(wèi)生、航天、醫(yī)療器械等諸多領(lǐng)域,如有需要,可隨時與我公司聯(lián)系!

 

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